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SPETEC蠕動(dòng)泵MP-12-SM-4-XU

SPETEC蠕動(dòng)泵MP-12-SM-4-XU適用于半導(dǎo)體刻蝕液添加
四通道獨(dú)立控制HF/HNO?/H?O?流量,混合精度??±0.1mL/min??,晶圓良率提升??2%

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-07-22
  • 訪  問(wèn)  量:983
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產(chǎn)品詳情
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SPETEC蠕動(dòng)泵MP-12-SM-4-XU適用于半導(dǎo)體刻蝕液添加

SPETEC1987年在德國(guó)埃爾丁創(chuàng)立,初期專(zhuān)注于分析儀器備件銷(xiāo)售。從潔凈室基礎(chǔ)設(shè)備(如層流箱)起步,逐步擴(kuò)展至蠕動(dòng)泵、注射泵等流體控制產(chǎn)品,并衍生激光安全防護(hù)業(yè)務(wù)。

 

主要產(chǎn)品:

SPETEC層流箱

SPETEC蠕動(dòng)泵

SPETEC注射泵

SPETEC護(hù)目鏡

SPETEC安全幕

 

SPETECMP-12-SM-4-XU

精密流體分割:12個(gè)滾輪連續(xù)交替擠壓軟管,形成0.0017mL級(jí)微枕單元,脈動(dòng)幅度<1%(較6滾輪泵降低60%),滿(mǎn)足HPLC、ICP-MS等分析儀器對(duì)流量穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。  

雙向無(wú)回流設(shè)計(jì):步進(jìn)電機(jī)支持正反轉(zhuǎn)切換(0-5V信號(hào)控制),停機(jī)時(shí)軟管彈性閉合阻斷回流,自吸高度≥2m(水介質(zhì)),杜絕交叉污染。  

并行精準(zhǔn)輸送:4組獨(dú)立泵頭通過(guò)CAN總線同步控制,每通道流量范圍0.001-45mL/min(適配內(nèi)徑1.6-4.8mm軟管),通道間流量偏差<±0.5%,支持多試劑同步配比。  

軟管壓縮智能調(diào)節(jié):旋鈕微調(diào)滾輪間隙(0.1-0.5mm),平衡密封性與軟管壽命(>2000小時(shí)連續(xù)運(yùn)行),維護(hù)成本降低50%。  

環(huán)保保障:流體僅接觸軟管內(nèi)壁(可選氟橡膠/鉑金硅膠/PTFE),泵體陽(yáng)極氧化+粉末涂層處理,耐受pH 0-14強(qiáng)酸強(qiáng)堿及DMSO、丙酮等有機(jī)溶劑。  

IP54防護(hù)外殼:防塵防濺水,適配生物安全柜、潔凈室等ISO 5級(jí)敏感環(huán)境。  

 

流量精度 ±0.5%(校準(zhǔn)后) ±2%

脈動(dòng)抑制率 >99%12滾輪協(xié)同) ≤85%

轉(zhuǎn)速范圍 1-80 rpm(可擴(kuò)展至120 rpm20-300 rpm

通道獨(dú)立性 4通道CAN總線同步控制 單通道獨(dú)立

介質(zhì)兼容性 全系防腐,通吃強(qiáng)酸/高粘/含顆粒 受限(pH 4-10

認(rèn)證支持:通過(guò)FDA 21 CFR(食品/制藥)、ISO 14644(潔凈室)及RoHS指令。

SPETEC蠕動(dòng)泵MP-12-SM-4-XU

 

型號(hào)示例:

SPETECMP-12-SM-4-XU

SPETECMP-12-SM-4-DU

SPETECPerimax 16

SPETECPerimax 12/4 SM 1-120 UPM

SPETECPerimax 12/4 SM 1-80 UPM

SPETECPerimax 12/4 SM 1-33 UPM

SPETECPerimax 12/4 D-Sub

SPETECPerimax 12/2 SM 1-33 UPM

SPETEC蠕動(dòng)泵MP-12-SM-4-XU適用于半導(dǎo)體刻蝕液添加


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